本模塊是把真空度信號轉(zhuǎn)變成電壓信號，有電壓信號再轉(zhuǎn)變成頻率信號的真空度頻率模塊。真空度測量范圍:大氣到1帕
頻率范圍：174K赫茲到2K赫茲。本模塊有真空測量和電壓頻率轉(zhuǎn)換兩部分組成：
真空測量部分工作原理簡介：
利用熱傳導(dǎo)現(xiàn)象測量氣體的壓強，它是有電阻規(guī)管、供電系統(tǒng)、測量電路組成。供電系統(tǒng)供電使電阻規(guī)熱絲溫度恒定不變，即熱絲的電阻值恒定，由于氣體壓強的不同，氣體導(dǎo)走的熱量損失不同，氣體壓強越高，導(dǎo)走的熱量越多。由于供電系統(tǒng)自動供電補償使它的熱絲溫度恒定不變，測試供電電壓的變化即得氣體的壓強。
電壓頻率轉(zhuǎn)換部分工作原理簡介：
本線路具有良好的精度、線性和積分輸入等特點，另外它的應(yīng)用電路簡單，外圍元件性能要求不高，對環(huán)境適應(yīng)能力強等特點。在與計算機接口相連接時更有以下優(yōu)點：
接口簡單、占用計算機硬件資源少。頻率信號可輸入微機的任意一根I/O口線或做中斷源及計數(shù)輸入等。
抗干擾性能好，電壓頻率轉(zhuǎn)換本身是一個積分過程，且用電壓頻率實現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換是一個頻率計數(shù)過程，相當(dāng)于在計數(shù)時間內(nèi)對頻率信號進行積分，因而有較強的抗干擾能力。另外采用光電耦合連接模塊與計算機的通道，實現(xiàn)光電隔離。
便于遠距離傳輸。